5英寸硅晶片腐蚀机 适用于1″~8″碳化硅清洗型号:CGB-XXXX—XX系列,**:华林嘉业—CGB。德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;该设备适用于5英寸硅晶圆片的清洗腐蚀。分为电器部分、箱体部分、隔离门部分、在线加热部分、喷淋部分、喷淋装置的上下移动部分、管路部分、抽风部分。 1.本设备为柜体式,外箱体为德国磁白PP,内箱体为德国PVDF,操作面带有德国透明PVC门窗。 2.清洗满足工艺:上料→热冷DI水冲洗→下料DI水压力:3kg/cm2DI水加热温度:75°~85° 3.冷热水喷淋方式:自动控制 4.管路部分: ⑴气动阀采用德国产,执行机构与流体隔离,流体接触材质为PVDF,用于DI水的气动阀。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询: //耿彪。本公司律师顾问团郑重声明:依据地区有关法律,在*人民共和国范围内,北京华林嘉业科技有限公司是一拥有对有关“华林嘉业”字样名称及商标等**权的合法性公司,任何个人机构不得擅自使用。